本实用新型公开了一种用于晶圆盒的充气系统，包括供气装置、进气管路、排气管路，进气管路包括总进气管及四条支进气管，总进气管上设有总进气阀，每条支进气管上均设有支进气阀，每条支进气管分别连接一个通气口；排气管路包括总排气管及四条支排气管，总排气管上设有总排气阀，每条支排气管上均设有支排气阀，每条支排气管分别连接一个通气口；充气系统还包括控制单元，控制单元与总进气阀、总排气阀、四个支进气阀、四个支排气阀分别信号连接；每个通气口均具有可切换的进气状态与排气状态。该用于晶圆盒的充气系统能够进行非常灵活的调节、转换，实现氮气流量的准确控制，有效降低成本，操作快捷且不易出错。