本实用新型公开了一种光刻机的过滤机构，包括储水箱，所述储水箱顶部的左侧连通有进水管，所述储水箱右侧的顶部设置有水泵，所述储水箱的右侧固定连接有过滤机构，所述过滤机构位于水泵的底部。本实用新型通过进水管将废水放入储水箱的内腔，启动水泵将废水抽出，通过输水管排入过滤机构的内腔，通过滤网架、活性炭过滤管和滤微膜架的配合使用对废水中的可见杂质、异味异色和微小颗粒进行过滤和净化，最后启动水质检测器对过滤后的废水进行检测，解决了现有的部分过滤机构对废水中的微小杂质过滤不完全，不能对水中的异味和异色进行去除，不能对过滤后不达标准的废水进行循环净化，对使用者的使用造成不便的问题。