成像装置和光刻机

授权

摘要

本实用新型公开了一种成像装置和光刻机，成像装置包括：镜筒、光学组件和运动转换件，镜筒内形成有安装腔，镜筒形成有轴向延伸的限位槽，限位槽径向贯穿镜筒的壁，光学组件设置于安装腔内，光学组件外侧设置有移动件，移动件穿设限位槽，以实现光学组件轴向移动，运动转换件可转动地套设在镜筒的外侧且与移动件相配合，以在运动转换件相对镜筒转动时驱动移动件在限位槽内轴向移动。使用该运动转换件可以将光学组件的旋转和上下两个方向的运动分开，通过运动转换件的旋转推动移动件，从而可以带动光学组件实现上下移动，这样避免了传统的直接使用螺纹旋转上下调节给成像装置的成像质量带来的各种不良影响。

基本信息

专利标题：

成像装置和光刻机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021586260.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-03

授权号：

CN213069471U

授权日：

2021-04-27

发明人：

胡刚项宗齐

申请人：

合肥芯碁微电子装备股份有限公司

申请人地址：

安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F3楼11层

代理机构：

北京景闻知识产权代理有限公司

代理人：

常鹏

优先权：

CN202021586260.9

主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/20