本实用新型公开了一种光刻机的清理机构，包括连接座，所述连接座的底部固定连接有电机一，所述电机一的输出轴固定连接有连接架，所述连接架的底部固定连接有转动架，所述转动架的内腔活动连接有转动块。本实用新型通过开启电机一，电机一的输出轴带动连接架、转动架、转动块、风泵结构和调节结构旋转一定的角度，进而调节风泵结构的轴向角度，通过调节结构调节风泵结构的水平角度，最终实现了方便调节的目的，该光刻机的清理机构具备方便调节的优点，在实际使用过程中能够任意调节风泵结构的角度，从而多角度的对光刻机的工作台进行清理，该清理机构结构简单，适用范围广，方便了使用者使用，提高了光刻机的实用性。