一种滤波器芯片及其加工方法
实质审查的生效
摘要

本发明提供了一种滤波器芯片及其加工方法,涉及滤波器技术领域;所述滤波器芯片包括晶圆,晶圆上设有芯片有效区;芯片有效区外设有划片道;芯片的有效区内设有谐振器和焊盘;焊盘通过金属线路连接谐振器;焊盘的植球区域内植有锡球;锡球和谐振器以外芯片的有效区表面覆盖二氧化硅保护层。本发明的滤波器芯片的谐振器区域没有覆盖二氧化硅保护层,保持谐振器灵活输入输出和高频转换功能;减少了二氧化硅保护层对滤波器芯片性能的影响,提高了滤波器的谐振能效,特别是高频滤波器抗干扰效果更强。通过在助焊剂刷胶植球钢网上设置与晶圆上谐振器对应的半刻蚀空腔,避免了谐振器加工过程中出现受损。

基本信息
专利标题 :
一种滤波器芯片及其加工方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114465590A
申请号 :
CN202210121014.3
公开(公告)日 :
2022-05-10
申请日 :
2022-02-09
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
吴现伟汪洋
申请人 :
上海萍生微电子科技有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区张东路1387号27幢101(复式)室
代理机构 :
上海助之鑫知识产权代理有限公司
代理人 :
王风平
优先权 :
CN202210121014.3
主分类号 :
H03H3/02
IPC分类号 :
H03H3/02  H03H9/46  
法律状态
2022-05-27 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 3/02
申请日 : 20220209
2022-05-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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