一种双龙门光刻机
授权
摘要

本实用新型公开了一种双龙门光刻机,涉及光学加工技术领域,包括基座、双龙门、光学机构、对位机构和工作台机构,光学机构和对位机构均连接于双龙门上;光学机构包括光刻镜头,光刻镜头和镜头移动板;对位机构包括对位相机;工作台机构包括上工作台和下工作台,上工作台上设有丝杠升降机构,上工作台通过丝杠升降机构对台面垂直升降;下工作台上设有斜块升降机构,下工作台通过斜块升降机构对台面垂直升降;本实用新型的上工作台通过丝杠升降机构垂直升降台面,下工作台通过斜块升降机构对台面垂直升降台面,丝杠升降机构的结构简单,重量低,占用空间小;本实用新型通过上工作台和下工作台的紧密配合工作,提高了工作效率,且不易产生误差。

基本信息
专利标题 :
一种双龙门光刻机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123088556.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-10
授权号 :
CN216361913U
授权日 :
2022-04-22
发明人 :
王华甘泉
申请人 :
广东科视光学技术股份有限公司
申请人地址 :
广东省东莞市东城区主山振兴路333号(B幢一楼)
代理机构 :
东莞市中正知识产权事务所(普通合伙)
代理人 :
成伟
优先权 :
CN202123088556.5
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-04-22 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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