一种旋转式气相沉积炉的冷却装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种旋转式气相沉积炉的冷却装置,旋转式气相沉积炉呈中空的圆柱体,冷却装置包括热传导冷却机构和喷淋水冷却机构;热传导冷却机构包括多个均布于旋转式气相沉积炉外壁上的翅片;喷淋水冷却机构包括冷却筒,冷却筒包括圆筒以及与圆筒的两端部满焊连接的环形挡板I,旋转式气相沉积炉通过环形挡板I上的中心孔贯穿与其间隙配合的冷却筒,冷却筒的上部设有通过管路与储水池中的水泵连接的进水管,进水管上间隔设有多个喷头,冷却筒的下部竖直设有多个出水管,出水管远离冷却筒的一端与换热器管路连接后延伸至储水池中。该冷却装置将热传导冷却机构和喷淋水冷却机构相结合,提高了旋转式气相沉积炉的散热速度,实现了快速冷却。
基本信息
专利标题 :
一种旋转式气相沉积炉的冷却装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021046515.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-09
授权号 :
CN212253683U
授权日 :
2020-12-29
发明人 :
王孟光高贵华陈志强
申请人 :
洛阳联创锂能科技有限公司
申请人地址 :
河南省洛阳市宜阳县产业集聚区建业路1号
代理机构 :
洛阳公信知识产权事务所(普通合伙)
代理人 :
常晓虎
优先权 :
CN202021046515.2
主分类号 :
F27D9/00
IPC分类号 :
F27D9/00 C23C16/44
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F27
炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D9/00
炉的冷却或炉内炉料的冷却
法律状态
2020-12-29 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载