一种旋转式气相沉积炉的冷却装置
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摘要
本实用新型公开了一种旋转式气相沉积炉的冷却装置，旋转式气相沉积炉呈中空的圆柱体，冷却装置包括热传导冷却机构和喷淋水冷却机构；热传导冷却机构包括多个均布于旋转式气相沉积炉外壁上的翅片；喷淋水冷却机构包括冷却筒，冷却筒包括圆筒以及与圆筒的两端部满焊连接的环形挡板I，旋转式气相沉积炉通过环形挡板I上的中心孔贯穿与其间隙配合的冷却筒，冷却筒的上部设有通过管路与储水池中的水泵连接的进水管，进水管上间隔设有多个喷头，冷却筒的下部竖直设有多个出水管，出水管远离冷却筒的一端与换热器管路连接后延伸至储水池中。该冷却装置将热传导冷却机构和喷淋水冷却机构相结合，提高了旋转式气相沉积炉的散热速度，实现了快速冷却。
基本信息
专利标题 ：
一种旋转式气相沉积炉的冷却装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021046515.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-09
授权号 ：
CN212253683U
授权日 ：
2020-12-29
发明人 ：
王孟光高贵华陈志强
申请人 ：
洛阳联创锂能科技有限公司
申请人地址 ：
河南省洛阳市宜阳县产业集聚区建业路1号
代理机构 ：
洛阳公信知识产权事务所(普通合伙)
代理人 ：
常晓虎
优先权 ：
CN202021046515.2
主分类号 ：
F27D9/00
IPC分类号 ：
F27D9/00 C23C16/44
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F27
炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D9/00
炉的冷却或炉内炉料的冷却
法律状态
2020-12-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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