气相沉积炉的沉积装置

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

摘要

本实用新型公开了一种气相沉积炉的沉积装置，所述沉积装置由固连于一起的石英手柄与石英引杆组成，所述石英手柄包括连接于石英引杆上的短杆，所述短杆远离石英引杆的端部形成有上凸台和下凸台。本实用新型的气相沉积炉的沉积装置，采用双凸台设计，将装卸、承载和沉积功能分开，使得生产装卸方便，提升生产效率和安全性。

基本信息

专利标题：

气相沉积炉的沉积装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921403707.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-08-27

授权号：

CN210595779U

授权日：

2020-05-22

发明人：

卫巍葛磊颜丽芳张玉刘宝金勇孙栋梁陈程顾清华催景涛邱徐斌

申请人：

江苏亨通智能科技有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市吴江经济技术开发区交通北路168号

代理机构：

苏州睿昊知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

沈彬彬

优先权：

CN201921403707.1

主分类号：

C03B20/00

IPC分类号：

C03B20/00 C03B19/14

相关图片

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C03

玻璃；矿棉或渣棉

C03B

玻璃、矿物或渣棉的制造、成型；玻璃、矿物或渣棉的制造或成型的辅助工艺

C03B20/00

生产石英或熔凝硅石制品的专用方法

法律状态

2022-05-27 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

IPC(主分类) : C03B 20/00
变更事项 : 专利权人
变更前 : 江苏亨通智能科技有限公司
变更后 : 江苏亨芯石英科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 215000 江苏省苏州市吴江经济技术开发区交通北路168号
变更后 : 215000 江苏省苏州市吴江经济技术开发区交通北路168号

2022-05-27 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移IPC(主分类) : C03B 20/00
登记生效日 : 20220513
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 江苏亨芯石英科技有限公司
变更后权利人 : 江苏亨芯石英科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 215000 江苏省苏州市吴江经济技术开发区交通北路168号
变更后权利人 : 215000 江苏省苏州市吴江经济技术开发区交通北路168号
变更事项 : 专利权人
变更后权利人 : 江苏亨通智能装备有限公司

2020-05-22 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

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