本实用新型涉及CVD设备技术领域，具体公开了一种进气及冷却装置及气相沉积装置，该进气及冷却装置包括用于对进气进行冷却的水冷件，水冷件包括若干冷却区，冷却区内设有冷却管道，冷却管道呈蛇形排布，冷却管道包括沿设定方向间隔设置的多个冷却通道，及若干连接通道，相邻的两个冷却通道通过连接通道连通；进气及冷却装置还包括若干进水管道和若干出水管道，若干进水管道和若干出水管道均与若干冷却管道一一对应设置，冷却管道的多个冷却通道沿设定方向依次增长，最短的冷却通道和最长的冷却通道分别与出水管道和进水管道连通。以解决冷却管道路径的影响，冷却管道的流阻大，流速不同，进而导致不同部分的表面温度存在差异性的问题。