本发明公开了一种层叠型电子元器件制造装置及使用方法，成膜基体和层叠支撑体之间设置有中间剥离辊，所述成膜基体通过底部设置的成膜形成部涂布陶瓷浆料连续形成陶瓷片材，所述陶瓷片材经中间剥离辊剥离绕卷在层叠支撑体形成层叠结构体，将层叠支撑体设置在渐变式导向部上，渐变式导向部受弹性构件的作用，使层叠支撑体在陶瓷片材绕卷过程中随着层叠结构体层数的增加，层叠支撑体能够向远离成膜基体的一侧移动，并使层叠支撑体与中间剥离辊始终保持相抵，有效防止层叠结构体绕卷层数发生松散，提高层叠型电子元器件制造质量，同时，在成膜基体涂布陶瓷浆料前，通过回转式刷洗部进行刷洗，能够有效提高陶瓷片材的质量。