一种半导体加工用喷胶装置
公开
摘要
本发明公开了一种半导体加工用喷胶装置,涉及半导体加工技术领域,包括工作台、转呈盘、喷胶架和驱动电机,转呈盘与工作台旋转,喷胶架安装于工作台和转呈盘的中心位置,驱动电机驱动带动转呈盘旋转。本发明通过在工作台、转呈盘、喷胶架和驱动电机之间设置若干机械联动机构,其中利用驱动电机,分别通过驱动链轮和驱动凸轮,同时带动设备进行进料和喷胶工作,实现连续性喷胶工作;同时通过设置压块和气压杆,利用转呈盘自转时带动压块公转,在不同位置的限位槽依次挤压气压杆,并利用活塞结构带动排料推杆进行排料,使排料和进料、喷胶同时进行;由于工作滑块每次滑动的距离有驱动凸轮的尺寸决定,喷胶量也受到严格控制,确保了批次喷胶质量。
基本信息
专利标题 :
一种半导体加工用喷胶装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114602745A
申请号 :
CN202210365154.5
公开(公告)日 :
2022-06-10
申请日 :
2022-04-08
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
郑剑华苏建国张元元孙彬朱建
申请人 :
南通华隆微电子股份有限公司
申请人地址 :
江苏省南通市通州区兴东镇孙李桥村西八组
代理机构 :
南通国鑫智汇知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
赵强
优先权 :
CN202210365154.5
主分类号 :
B05C5/02
IPC分类号 :
B05C5/02 B05C13/02 B05C11/10
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C5/00
将液体或其他流体物质喷射,灌注或让其流到工件表面的装置
B05C5/02
液体从与工件接触的或几乎接触的一个出口中出来
法律状态
2022-06-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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