一种半导体加工用喷胶装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体加工用喷胶装置,主要解决现有半导体喷胶装置喷涂后,半导体基片上及胶溶液分布不均匀,导致喷涂效果不佳的问题。该喷胶装置包括通过支脚固定的底座,设置于底座上并能够沿底座侧壁移动的支撑架,设置于支撑架上的控制柜,设置于支撑架上与控制柜相连的行走升降机构,与行走升降机构下端固定连接的电动喷枪,设置于支撑架上与电动喷枪通过软管连接的供胶箱,以及设置于底座上的若干加工承载台。通过上述设计,本实用新型本实用新型能够通过旋转圆台的转动,使半导体基片上的胶溶液在旋转的离心作用下运动,使得部分喷涂较厚的区域逐渐离心变薄,使整个基片喷涂的溶液覆盖更加均匀,提升喷涂效果。因此,适宜推广应用。
基本信息
专利标题 :
一种半导体加工用喷胶装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020741228.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-05-08
授权号 :
CN212576711U
授权日 :
2021-02-23
发明人 :
顾峡
申请人 :
四川科尔威光电科技有限公司
申请人地址 :
四川省成都市高新区世纪城南路599号天府软件园D6栋505号
代理机构 :
成都慕川专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
杨艳
优先权 :
CN202020741228.7
主分类号 :
B05C5/02
IPC分类号 :
B05C5/02 B05C11/08 B05C13/02
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C5/00
将液体或其他流体物质喷射,灌注或让其流到工件表面的装置
B05C5/02
液体从与工件接触的或几乎接触的一个出口中出来
法律状态
2021-02-23 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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