硅环台阶检测装置
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种硅环台阶检测装置,包括斜置的检测台以及转台组件和检测组件,所述转台组件包括与检测台平行设置且可被驱动转动的转台以及对中件和定位件,所述转台以在垂直于检测台方向上升降的方式设置于检测台上方,所述对中件设置于转台底部用于调节使得硅环对中,所述检测台侧部设置有缺口,所述检测组件设置于检测台缺口处并正对硅环台阶面检测,所述定位件设置于转台上,所述定位件用于对对中后的硅环夹持定位,且定位件随着转台转动并驱动硅环贴合于检测台表面转动。本发明中通过对中件使得硅环与转台保持同轴,在硅环随转台转动过程中,检测组件可快速对经过缺口上方的硅环台阶结构进行检测,整个检测过程较快,利于提高检测精度和检测效率。
基本信息
专利标题 :
硅环台阶检测装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114459311A
申请号 :
CN202210121891.0
公开(公告)日 :
2022-05-10
申请日 :
2022-02-09
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
李善维杨佐东
申请人 :
重庆臻宝实业有限公司
申请人地址 :
重庆市九龙坡区帽九路
代理机构 :
北京中政联科专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
邓楠
优先权 :
CN202210121891.0
主分类号 :
G01B5/00
IPC分类号 :
G01B5/00 G01B9/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B5/00
以采用机械方法为特征的计量设备
法律状态
2022-05-27 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 5/00
申请日 : 20220209
申请日 : 20220209
2022-05-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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