蒸镀装置
授权
摘要
本实用新型公开一种蒸镀装置，包括锅体、盖体、滑轨和至少一个限位件，滑轨设置在锅体和盖体两者中的一个上，锅体和盖体两者中的另一个上设有与滑轨配合的滑槽，限位件设置在锅体或盖体的端面上，限位件的一端与锅体和盖体两者中的一个可转动地连接，限位件的另一端与锅体和盖体两者中的另一个选择性连接。通过设置滑轨和滑槽，锅体和盖体能够通过滑动连接的形式快速的进行组装和拆卸，相较于采用大量螺栓进行固定的方式，大大提高了工作效率。锅体和盖体之间采用滑动连接，当锅体与盖体组装到位后，通过旋转限位件，能避免锅体和盖体之间发生相对滑动。当需要分离锅体和盖体时，旋转限位件进行解锁后就能通过平移实现锅体和盖体的轻松分离。
基本信息
专利标题 ：
蒸镀装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123201784.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-16
授权号 ：
CN216514088U
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
金永均
申请人 ：
乐金显示光电科技（中国）有限公司
申请人地址 ：
广东省广州市高新技术产业开发区科学城开泰大道59号
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
马笑雨
优先权 ：
CN202123201784.9
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 H01L51/56
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2022-05-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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