一种方便限位的芯片加工用基板拱度测量仪
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种方便限位的芯片加工用基板拱度测量仪，包括承台板和滑轨，所述承台板的顶部安装有四组立杆，所述立杆的顶部安装有滑轨，所述滑轨的两侧安装有封板，所述封板的一侧安装有固定底板，所述滑轨的外侧活动安装有横向滑块；所述承台板的顶部安装有芯片槽板，所述芯片槽板的正面安装有活动卡扣，所述芯片槽板背面的顶部安装有转轴，所述转轴的外侧活动安装有盖板。本发明通过安装芯片卡槽，能够有效的解决传统装置在使用时候易出现芯片基板出现晃动的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种方便限位的芯片加工用基板拱度测量仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114496894A
申请号 ：
CN202110874982.7
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2021-07-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
邓泽龙冯小平许新星
申请人 ：
苏州圭石科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市高新区银珠路15号东3幢厂房
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202110874982.7
主分类号 ：
H01L21/687
IPC分类号 ：
H01L21/687 H01L21/66
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/687
申请日 : 20210730
申请日 : 20210730
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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