一种表面改性的氧化铈颗粒及含其的抛光液
授权
摘要
本发明公开了一种表面改性的氧化铈颗粒及含其的抛光液。表面改性的氧化铈由氧化铈经如式I所示的改性剂改性得到。本发明表面改性的氧化铈颗粒可用作CMP磨粒，经表面改性后可降低氧化铈磨料的团聚，提高其在水中的分散性能并应用于化学机械抛光中，改善抛光后工件的表面质量。含有本发明表面改性的氧化铈的抛光液在氧化硅膜和氮化硅膜之间的抛光选择比较高，沟槽部的碟陷Dishing量较低，粗糙度均方根值RMS小。
基本信息
专利标题 ：
一种表面改性的氧化铈颗粒及含其的抛光液
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112662202A
申请号 ：
CN202110003324.0
公开（公告）日 ：
2021-04-16
申请日 ：
2021-01-04
授权号 ：
CN112662202B
授权日 ：
2022-05-10
发明人 ：
王溯马丽蒋闯张德贺章玲然孙涛秦长春寇浩东
申请人 ：
上海晖研材料科技有限公司
申请人地址 ：
上海市松江区思贤路3600号2幢4楼2409室
代理机构 ：
上海弼兴律师事务所
代理人 ：
王卫彬
优先权 ：
CN202110003324.0
主分类号 ：
C09C1/00
IPC分类号 ：
C09C1/00 C09C3/10 C09C3/12 C09C3/06 C09G1/02 C09K3/14
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C09
染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09C
纤维状填料以外的无机材料的处理以增强它们的着色或填充性能；炭黑的制备
C09C1/00
纤维状填料以外的特殊无机材料的处理；炭黑的制备
法律状态
2022-05-10 ：
授权
2021-05-04 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C09C 1/00
申请日 : 20210104
申请日 : 20210104
2021-04-16 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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