一种制备表面改性的氧化铈颗粒及含其的抛光液的方法
授权
摘要
本发明公开了一种制备表面改性的氧化铈颗粒及含其的抛光液的方法。表面改性的氧化铈颗粒的制备方法包括如下步骤，在如式I所示的改性剂的作用下，将氧化铈进行改性，得表面改性的氧化铈颗粒。本发明制备方法制备得到的改性氧化铈颗粒能够作为抛光液的磨粒，其能选择性抛光氧化硅膜，且抛光后表面粗糙度小。
基本信息
专利标题 ：
一种制备表面改性的氧化铈颗粒及含其的抛光液的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112778970A
申请号 ：
CN202110003323.6
公开（公告）日 ：
2021-05-11
申请日 ：
2021-01-04
授权号 ：
CN112778970B
授权日 ：
2022-05-10
发明人 ：
王溯蒋闯马丽寇浩东孙涛章玲然张德贺秦长春
申请人 ：
上海晖研材料科技有限公司
申请人地址 ：
上海市松江区思贤路3600号2幢4楼2409室
代理机构 ：
上海弼兴律师事务所
代理人 ：
王卫彬
优先权 ：
CN202110003323.6
主分类号 ：
C09K3/14
IPC分类号 ：
C09K3/14 C09C1/00 C09C3/12 C09G1/02 H01L21/311
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C09
染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09K
不包含在其他类目中的各种应用材料；不包含在其他类目中的材料的各种应用
C09K3/00
不包含在其他类目中的材料
C09K3/14
防滑材料；研磨材料
法律状态
2022-05-10 ：
授权
2021-05-28 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C09K 3/14
申请日 : 20210104
申请日 : 20210104
2021-05-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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