检查装置、修理装置及粒子束装置
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种能够利用粒子束检查大气中的被处理物的检查装置和一种能够利用粒子束修理大气中的被处理物的修理装置，其中，所述检查装置包括：柱部，所述柱部配置于大气中且内部被控制为真空；开口部，所述开口部形成在柱部；粒子束发射部，所述粒子束发射部设置在柱部的内部；及检测部，所述检测部设置在粒子束发射部与被处理物之间，所述修理装置包括：柱部，所述柱部配置于大气中且内部被控制为真空；开口部，所述开口部形成在柱部；粒子束发射部，所述粒子束发射部设置在柱部的内部；及气体供应部，所述气体供应部能够喷射源气体。
基本信息
专利标题 ：
检查装置、修理装置及粒子束装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114270471A
申请号 ：
CN202080057948.4
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2020-08-13
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
卞仁宰李钟洙尹汝洪成明俊芮世熙宋恩范
申请人 ：
查目科技股份有限公司
申请人地址 ：
韩国京畿道龙仁市处仁区南四面兄弟路5号
代理机构 ：
北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
郑青松
优先权 ：
CN202080057948.4
主分类号 ：
H01J37/244
IPC分类号 ：
H01J37/244 H01J37/28 H01J37/08
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/244
检测器；所采用的组件或电路
法律状态
2022-04-19 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/244
申请日 : 20200813
申请日 : 20200813
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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