带电粒子束曝光
专利申请的视为撤回
摘要
在曝光系统中应用一种细长的带电粒子的源(20)，以产生多个以线性阵列排列的聚焦电子(或离子)。使多束带电粒子作跨过工件(10)的扫描(18)，以及利用可选择地对所述粒子束的个别粒子束的消隐的方法，就能在工件上产生图形。
基本信息
专利标题 ：
带电粒子束曝光
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN86105432A
申请号 ：
CN86105432.6
公开（公告）日 ：
1987-05-27
申请日 ：
1986-08-26
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
马丁·弗尔德曼马丁·保罗·利普塞尔特
申请人 ：
美国电话电报公司
申请人地址 ：
美国纽约州10022
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利代理部
代理人 ：
邓明
优先权 ：
CN86105432.6
主分类号 ：
H01J37/00
IPC分类号 ：
H01J37/00 G03F7/20
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
法律状态
1993-01-20 ：
专利申请的视为撤回
1988-03-02 ：
实质审查请求
1987-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
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