本实用新型涉及半导体技术领域，特别是一种半导体溅合设备专用测试装置，包括框架本体、悬臂梁、检测模块、第一液体测试组件、第二液体测试组件、第一气体测试组件和第二气体测试组件，所述框架本体包括底板、第一竖板、第二竖板和辅助板，所述第一竖板与第二竖板分别竖直安装在底板的两侧。本实用新型优点在于：将需测试的气体通过第一进气口输送至第一连接管内，并将第一连接管的另一端连接第一气体流量传感器，使得第一气体流量传感器可以对第一连接管的气体进行测试，测试完成后，通过连接第一输液接口，将清洁液体输送至第一连接管内，对第一连接管内进行清洁，防止因第一连接管内残留的测试气体，而影响后续测试的结果。