本实用新型涉及晶圆加工领域，具体涉及了一种晶圆打磨机构，与加工主轴相邻设置，包括基座、打磨机、第一驱动装置和第二驱动装置，打磨机通过第一驱动装置和第二驱动装置连接于基座，第一驱动装置用于驱动打磨机沿加工主轴的轴向运动，第二驱动装置用于驱动打磨机沿加工主轴的径向运动，上述两种驱动装置使得打磨机能够沿加工主轴的轴向和径向运动，当打磨机在第一驱动装置的驱动下沿加工主轴的轴向运动时，打磨机可在晶圆的轴向上相对晶圆运动，以对晶圆的外圆周面进行打磨，打磨机和晶圆的接触面积是逐渐增大的，避免出现晶圆崩边、碎片现象。