一种芯片平整度检测装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种芯片平整度检测装置,包括操作架,操作架的上端固定连接有装置外壳、计算机与支架,计算机位于装置外壳的一侧,且支架位于装置外壳的内部,装置外壳的下端固定连接有电动推杆与电动推杆二,电动推杆二位于电动推杆的一侧,电动推杆的下端固定连接有压板,且压板的下表面固定安装有压力传感器,电动推杆二的下端固定安装有滚轮,装置外壳的上端固定安装有控制器。
基本信息
专利标题 :
一种芯片平整度检测装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020795379.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-05-14
授权号 :
CN212082336U
授权日 :
2020-12-04
发明人 :
杨平文
申请人 :
武汉芯锋芯电子科技有限公司
申请人地址 :
湖北省武汉市洪山区文化大道555号融科智谷A3-5栋-3F-14
代理机构 :
北京艾皮专利代理有限公司
代理人 :
马小辉
优先权 :
CN202020795379.0
主分类号 :
G01B21/30
IPC分类号 :
G01B21/30
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B21/26
••用于检测轮子的准直度
G01B21/30
用于计量表面的粗糙度或不规则性
法律状态
2020-12-04 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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