本实用新型公开了一种多晶硅废气处理与余热利用装置，包括箱体，所述箱体的内部设置有废气水浴处理腔和余热利用腔，所述废气水浴处理腔的内顶壁开设有进料口，且该进料口的上表面通过法兰连接有密封盖，所述箱体的上表面固定连接有过滤多晶硅废气中较大颗粒的过滤罐，所述过滤罐的上表面法兰连接有罐盖。该多晶硅废气处理与余热利用装置，通过设置废气输送管、过滤罐与连接管，能将多晶硅生产中产生的废气引入废气水浴处理腔中，并通过碱液对废气进行水浴净化，在废气与碱液发生化学反应时产生的热量通过余热利用腔能对水进行加热，使得余热得以利用，从而使整个装置具有废气处理的效果，且在废气处理的过程中产生的余热得以利用。