一种多晶硅废气处理装置及多晶硅废气深冷处理装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种多晶硅废气处理装置及多晶硅废气深冷处理装置，其中多晶硅废气深冷处理装置包括缓冲罐、一级换热器和二级换热器。本方案公开的多晶硅废气深冷处理装置延长了氯甲烷在一级换热器内的停留时间，提高了氯甲烷冷量的利用效率，同时将氯甲烷汇聚在一级换热器内，在压力变送器采集的缓冲罐的压力等于或者大于预设压力时，一级换热器的氯甲烷才会通过第一电控调压阀送入淋洗塔，通过淋洗塔对氯甲烷进行集中处理，提高了对氯甲烷的淋洗效果，而且减少了淋洗塔的淋洗次数，降低了氯甲烷的处理成本，也就降低了废气的处理成本。
基本信息
专利标题 ：
一种多晶硅废气处理装置及多晶硅废气深冷处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020394798.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-25
授权号 ：
CN212757290U
授权日 ：
2021-03-23
发明人 ：
袁野刘品强艾年君钟国俊李宏
申请人 ：
四川永祥多晶硅有限公司
申请人地址 ：
四川省乐山市五通桥区竹根镇永祥路100号
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
张东梅
优先权 ：
CN202020394798.3
主分类号 ：
B01D5/00
IPC分类号 ：
B01D5/00 B01D53/18
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D5/00
蒸气的冷凝；用冷凝法回收挥发性溶剂
法律状态
2021-03-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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