一种拉晶生长装置及单晶硅生产设备

授权

摘要

本实用新型公开了一种拉晶生长装置，包括提拉器、水冷器及换热器；所述换热器为筒状换热器，所述筒状换热器的直径从靠近固液界面的一端向远离固液界面的一端逐渐扩大；所述换热器的内壁包括多个沿所述提拉器的提拉方向排列的吸热凹坑；所述提拉器的提拉方向与所述筒状换热器的轴线方向相同，且穿过所述筒状换热器的孔洞；所述水冷器与所述换热器接触设置，所述换热器通过所述水冷器与外界热交换。本实用新型通过在所述换热器的内壁设置所述吸热凹坑，增加了所述换热器与晶棒间的换热面积，通过凹陷的吸热凹坑使来自所述晶棒的热辐射在凹坑内部反射，提升了吸热效率，从而提高了单晶生长速度。本实用新型了一种具有上述有益效果的单晶硅生产设备。

基本信息

专利标题：

一种拉晶生长装置及单晶硅生产设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020676577.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-28

授权号：

CN212316278U

授权日：

2021-01-08

发明人：

马腾飞汪奇龙昭钦兰志勇王兴龙

申请人：

四川晶科能源有限公司

申请人地址：

四川省乐山市五通桥区桥沟镇十字街10号

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

王雨

优先权：

CN202020676577.5

主分类号：

C30B15/00

IPC分类号：

C30B15/00