一种芯片脱离用顶针高度控制夹具
专利权的终止
摘要
本实用新型提供了一种芯片脱离用顶针高度控制夹具,所述控制夹具包括水平行走构件和夹具本体,其中,所述夹具本体包括长方体以及设置在长方体上的第一凹槽、第二凹槽和第三凹槽,所述第一凹槽、第二凹槽和第三凹槽沿长方体长度方向设置在同一个平面上且具有不同的深度;水平行走构件与夹具本体相连并能够控制夹具本体在水平面上移动。进行高度检测时根据需要控制的顶针高度选择夹具本体上对应的凹槽,通过水平行走构件控制夹具本体向顶针移动,若顶针高度超高则顶针不能进入所述凹槽中,降低顶针高度重复进行高度检测直到顶针能够进入凹槽。本实用新型具有能够快速方便的判断顶针高度是否超过高度控制上限值、控制夹具体积小、成本低等优点。
基本信息
专利标题 :
一种芯片脱离用顶针高度控制夹具
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020454574.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-04-01
授权号 :
CN211828724U
授权日 :
2020-10-30
发明人 :
吕万春贺勇邓云刚邓波陈凤甫李科李力
申请人 :
四川立泰电子有限公司
申请人地址 :
四川省遂宁市德泉路微电子园A区
代理机构 :
成都中玺知识产权代理有限公司
代理人 :
邢伟
优先权 :
CN202020454574.7
主分类号 :
H01L21/687
IPC分类号 :
H01L21/687 H01L21/67
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的,例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2022-03-18 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01L 21/687
申请日 : 20200401
授权公告日 : 20201030
终止日期 : 20210401
申请日 : 20200401
授权公告日 : 20201030
终止日期 : 20210401
2020-10-30 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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