一种碳化硅晶体生长装置
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型提供了一种碳化硅晶体生长装置,包括:坩埚,所述坩埚内底部放置碳化硅原料;侧部感应线圈,其围绕设置于所述坩埚的侧部,所述侧部感应线圈包括上下独立设置的第一侧部感应线圈和第二侧部感应线圈;底部感应线圈,其设置于所述坩埚的底部外侧。本实用新型采用独立控制的侧部上下感应线圈和底部感应线圈,分别对坩埚的不同部位进行加热,通过调整第一侧部感应线圈、第二侧部感应线圈和底部感应线圈的设置和加热频率,可以实现晶体不同阶段所需的温度梯度,从而实现轴向温度的精确和动态控制。

基本信息
专利标题 :
一种碳化硅晶体生长装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020142058.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-01-20
授权号 :
CN211497867U
授权日 :
2020-09-15
发明人 :
贾河顺周敏刘圆圆宋建赵吉强辛鹏波
申请人 :
山东天岳先进材料科技有限公司
申请人地址 :
山东省济南市槐荫区天岳南路99号
代理机构 :
北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
吴绍群
优先权 :
CN202020142058.0
主分类号 :
C30B29/36
IPC分类号 :
C30B29/36  C30B23/00  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/10
无机化合物或组合物
C30B29/36
碳化物
法律状态
2020-12-29 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : C30B 29/36
变更事项 : 专利权人
变更前 : 山东天岳先进材料科技有限公司
变更后 : 山东天岳先进科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 250100 山东省济南市槐荫区天岳南路99号
变更后 : 250118 山东省济南市槐荫区天岳南路99号
2020-09-15 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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