一种半导体设备用密封性能检验机构

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摘要

本实用新型公开了一种半导体设备用密封性能检验机构，包括底座，该半导体设备用密封性能检验机构，通过螺母与螺栓将波纹管与对接板和第二侧板固定，通过设有电动伸缩杆对波纹管进行拉伸，使波纹管处于适应长度，避免了抽气时波纹管的负压收缩变形，对波纹管本身起到保护作用，适用范围广泛，本设计不仅仅适用于焊接圆形法兰的波纹管，还适用于焊接椭圆形、三角形等任意形状法兰的波纹管，具有通用性，本机构结构小巧简单，拆卸方便，提高了波纹管的检漏效率，整体结构合理，使用便捷，密封性能好，利于后期检验时的准确对，此工装结构有效的提高了检漏的可靠性，减少了检漏时间，同时排除了波纹管存在漏点的可能性等特点。

基本信息

专利标题：

一种半导体设备用密封性能检验机构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921021800.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-03

授权号：

CN210221427U

授权日：

2020-03-31

发明人：

王迪杏蒋伟王宁张阳秦文兵王金裕苗全盛路阳王伟顾育琪

申请人：

无锡迪渊特科技有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市新吴区菱湖大道228号天安智慧城1-805

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201921021800.6

主分类号：

G01M3/28

IPC分类号：

G01M3/28