本实用新型公开了一种晶片装载机构，包括装载腔室，其上开设有开口，装载组件，可往复移动地设置在装置腔室内，用于承载晶片载具，以及滑动组件，设置在装载腔室内，滑动组件的滑动端与所述装载组件连接，所述滑动组件的滑动端的运动方向朝向所述装载腔室的开口。本实用新型提供的晶片装载机构通过滑动组件带动装载组件进入或伸出装载腔室，实现在晶片装载机构的外部将晶片载具放入到装载组件上或者取下空载具。在晶片载具的装卸过程中，操作者无需进入晶片装载机构的内部，能减少设备内酸性气体对操作者的人身伤害。