一种半导体制造用的机械手臂

授权

摘要

本实用新型公开了一种半导体制造用的机械手臂，其结构包括半导体制造机械手、转轴、可移动升降装置、固定底座、机械臂，所述半导体制造机械手下端与转轴上端相连接，本实用新型一种半导体制造用的机械手臂，本实用新型一种半导体制造用的机械手臂，结构上使用气缸作为动力，利用缓冲针阀输入压缩空气时到无杆腔，这时有杆腔排气，气缸的两腔会产生压力差，将会作用在活塞上形成的力推动活塞运动，使得活塞杆伸出，使得剪叉架根据转轴相连两侧向内内侧靠近逐渐立起以此来提升高度，推起支撑板从而将设备高度抬高，从而能根据不同的工作环境来调整设备的高度进行匹配工作，调整便捷，省时省力。

基本信息

专利标题：

一种半导体制造用的机械手臂

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920857016.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-06-06

授权号：

CN210704794U

授权日：

2020-06-09

发明人：

徐玉龙

申请人：

深圳精达宇科技有限公司

申请人地址：

广东省深圳市龙岗区园山街道西坑社区宝桐北路31号1层至四层

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201920857016.2

主分类号：

B25J5/00

IPC分类号：

B25J5/00