单晶炉加热系统热回收设备
授权
摘要

本实用新型公开一种单晶炉加热系统热回收设备,包括机架,机架上表面设置有安装板,安装板的上表面设置有气体过滤箱,气体过滤箱的前侧面设置有第一出气管,第一出气管与导管连接,第一出气管的外侧面设置有第三自动排气阀,导管通过弯管接头与进气接管相连,进气接管通过第一卡箍与设置在炉体的外侧面下端的进气口连接,气体过滤箱的左侧面通过第一进气管与设置在炉体外侧面的出气口连接,本实用新型通过对单晶炉制备晶体的工作过程中热量的收集,在单晶炉制备晶体结束后,单晶炉的冷却过程中,将收集的热量重新输送进该装置,减少能量的损失,又实现能量的再利用,提高能量的利用效率,节约能源,减少运营成本。

基本信息
专利标题 :
单晶炉加热系统热回收设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920569760.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-04-24
授权号 :
CN210085622U
授权日 :
2020-02-18
发明人 :
魏海宁施政袁长路
申请人 :
徐州晶睿半导体装备科技有限公司
申请人地址 :
江苏省徐州市徐州经济技术开发区鑫芯路1号
代理机构 :
北京淮海知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
华德明
优先权 :
CN201920569760.2
主分类号 :
C30B29/06
IPC分类号 :
C30B29/06  C30B35/00  F27D17/00  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/02
元素
C30B29/06
法律状态
2020-02-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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