磁控溅射镀膜机用靶管装卸工装
授权
摘要
本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜机用靶管装卸工装，包括支撑杆、左夹紧架和右夹紧架，支撑杆位于左夹紧架、右夹紧架的下方，左夹紧架和右夹紧架为对称结构，并均包括抱爪和叉臂架，抱爪位于叉臂架内侧的上方，叉臂架的水平高度低于抱爪的水平高度，抱爪为一体结构；抱爪包括固定杆、爪头和旋转臂，爪头位于固定杆的一端，旋转臂位于固定杆的中部，固定杆的另一端连接有连杆，旋转臂固定在支撑杆的固定轴上，连杆之间通过滑块固定，支撑杆的固定柱上设有与滑块连接的调节螺杆，调节螺杆的末端设有摇臂。本实用新型采用上述结构的磁控溅射镀膜机用靶管装卸工装，结构简单，操作方便，对靶管的抓紧力强。
基本信息
专利标题 ：
磁控溅射镀膜机用靶管装卸工装
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920395570.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-03-27
授权号 ：
CN209599102U
授权日 ：
2019-11-08
发明人 ：
王胜雨薛道荣万光辉
申请人 ：
河北道荣新能源科技有限公司
申请人地址 ：
河北省邢台市威县经济开发区跨越路以东、信德路以北
代理机构 ：
北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘敏
优先权 ：
CN201920395570.3
主分类号 ：
B25B27/00
IPC分类号 ：
B25B27/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25B
不包含在其他类目中的用于紧固、连接、拆卸或夹持的工具或台式设备
B25B27/00
不包含在其他类目中的，专门适用于有变形或无变形零件或物品的装配或分离的手动工具或台式设备
法律状态
2019-11-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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