本发明提出了立式连续等离子增强气相沉积炉、方法，所述立式连续等离子增强气相沉积炉设备立式设置，设有预热炉、进料仓、微波加热单元、真空料仓、出料仓，通过向石英管等离子反应仓连续投放物料实现了连续等离子增强气相沉积工艺，提高了加工效率；同时本发明设有多个微波加热模块，多个模块之间设有缓冲板，缓冲板上设有筛网，将物料再次通过筛网振动，筛入下个微波加热模块中的石英管中，减缓了物料的下降速度，提高沉积反应时间；微波加热模块中设有功率分配器，将微波功率分配至两个支路，在保证较大功率的同时，提高微波加热均匀性。