一种用于单晶生长炉的真空除尘设备

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摘要

本发明公开了一种用于单晶生长炉的除尘设备，其安装在单晶炉真空管道与真空泵之间，能有效过滤拉晶过程中产生的挥发物，实现在线清灰，降低真空油的污染，极大的延长了真空泵的连续工作时间从而延长了单晶炉连续运行时间。本发明的用于单晶生长炉的除尘设备过滤效率≥99.99％，防燃烧冷却器将单晶粉尘进行初级过滤，能够将易燃烧粉尘过滤效率达到95％以上，方便维护检修门，能够节省现场的维护成本；并且能够有效清除单晶硅气体中磷、硫、炭、坤等杂质，从而提高单晶硅纯度，减少油封油消耗，使真空系统不受粉尘和固体颗粒污染和损坏。

基本信息

专利标题：

一种用于单晶生长炉的真空除尘设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN106669301A

申请号：

CN201710071972.3

公开（公告）日：

2017-05-17

申请日：

2017-02-09

授权号：

CN106669301B

授权日：

2022-06-07

发明人：

张承臣李恒盛马守林赵威林俊海赵旭伦张先文

申请人：

沈阳隆基电磁科技股份有限公司

申请人地址：

辽宁省抚顺市辽宁省抚顺经济开发区文华路6号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201710071972.3

主分类号：

B01D46/02

IPC分类号：

B01D46/02 B01D46/04 B01D46/42 B01D46/44 C30B15/00