本实用新型公开了一种复合式自动光学检测设备，其包含有一自动检测用的扫瞄式摄像镜头；一量测用摄像镜头；一瑕疵检查主机；以及一校准检查主机。本实用新型之复合式自动光学检测设备在仅需配置一个加载/卸载区域的设计下，即可具有污染粒子检测、框胶线宽量测检测与对组精度检测的功用，形成一机多用途的有效利用，因此可大幅度缩小自动光学检测设备在无尘室的空间占用率，进而使得无尘室的空间能更有效地应用。