使用温度可调的卡盘设备来测试半导体晶片的方法和装置
授权
摘要
本发明提供了一种使用温度可调夹紧设备(1)来测试半导体晶片(5)的方法,包括如下步骤:使用具有预定加热功率(PW)的电加热设备(HE)和具有预定冷却能力(PK)的冷却设备(11a,11b,11c),将夹紧设备的温度控制到预定测量温度,其中将流体(F)通过冷却设备(11a,11b,11c)以达到冷却目的,所述加热功率(PW)实质上大于预定测试功率(PT);将半导体晶片(5)的背面(R)放置在温度可调夹紧设备(1)的支持面(AF)上;将探测卡(7’,7’a)放置在半导体晶片(5)的正面;通过使用其上放置的探测卡(7’,7’a)的探针(91,92),从测试装置(TV)将测试功率(PT)施加到半导体晶片(5)的正面(O)的芯片区(CH)中,对半导体晶片(5)进行测试;记录测试期间流体(F)的温度升高,流体(F)的温度升高反映了测试功率(PT);以及考虑到测试期间记录的流体(F)的温度升高,在冷却能力(PK)实质上恒定不变的情况下,减小测试期
基本信息
专利标题 :
使用温度可调的卡盘设备来测试半导体晶片的方法和装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN101137911A
申请号 :
CN200680001956.7
公开(公告)日 :
2008-03-05
申请日 :
2006-01-10
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
埃里希·赖廷格
申请人 :
埃里希·赖廷格
申请人地址 :
德国慕尼黑
代理机构 :
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 :
朱进桂
优先权 :
CN200680001956.7
主分类号 :
G01R31/28
IPC分类号 :
G01R31/28 H01L21/00
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R31/28
•电路的测试,例如用信号故障寻测器
法律状态
2011-06-08 :
授权
2008-12-31 :
专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移)
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 埃里希·赖廷格
变更后权利人 : ERS电子有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 德国慕尼黑
变更后权利人 : 德国巴伐利亚
登记生效日 : 20081128
变更前权利人 : 埃里希·赖廷格
变更后权利人 : ERS电子有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 德国慕尼黑
变更后权利人 : 德国巴伐利亚
登记生效日 : 20081128
2008-04-30 :
实质审查的生效
2008-03-05 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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2、
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