具有设置在靶管与承载管之间的连接层的管状靶
发明专利申请公布后的驳回
摘要
本发明涉及一种具有圆柱形承载管和至少一个设置在其外表面上的靶管的管状靶，其中在所述靶管与所述承载管之间设置有连接层，本发明的特征在于，所述连接层是导电的，并且具有大于90％的润湿度。
基本信息
专利标题 ：
具有设置在靶管与承载管之间的连接层的管状靶
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101080508A
申请号 ：
CN200580042924.7
公开（公告）日 ：
2007-11-28
申请日 ：
2005-12-07
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
克里斯托夫·西蒙斯马丁·施洛特马库斯·舒尔特海斯马丁·魏格特拉尔斯·古塞克
申请人 ：
W.C.贺利氏有限公司
申请人地址 ：
德国哈瑙市
代理机构 ：
北京天昊联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
顾红霞
优先权 ：
CN200580042924.7
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34 H01J37/34
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2011-11-23 ：
发明专利申请公布后的驳回
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101215939303
IPC(主分类) : C23C 14/34
专利申请号 : 2005800429247
公开日 : 20071128
号牌文件序号 : 101215939303
IPC(主分类) : C23C 14/34
专利申请号 : 2005800429247
公开日 : 20071128
2008-01-23 ：
实质审查的生效
2007-11-28 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
