砷化镓基量子级联半导体激光器材料及生长方法
专利权的终止
摘要
一种砷化镓基量子级联半导体激光器材料的生长方法,其特征在于,包括如下生长步骤:步骤1:利用分子束外延技术首先在砷化镓衬底上晶格匹配的下包层;步骤2:在晶格匹配的下包层上生长下波导限制层,用来提高波导芯层的折射率,增强光限制;步骤3:在下波导限制层上生长有源区,作为发光区;步骤4:在有源区上生长上波导限制层,用来提高波导芯层的折射率,增强光限制;步骤5:在上波导限制层上生长欧姆接触层,完成砷化镓基量子级联半导体激光器材料的生长。
基本信息
专利标题 :
砷化镓基量子级联半导体激光器材料及生长方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1972047A
申请号 :
CN200510086962.4
公开(公告)日 :
2007-05-30
申请日 :
2005-11-23
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
李路刘峰奇刘俊岐郭瑜周华兵梁凌燕吕小晶
申请人 :
中国科学院半导体研究所
申请人地址 :
100083北京市海淀区清华东路甲35号
代理机构 :
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 :
汤保平
优先权 :
CN200510086962.4
主分类号 :
H01S5/343
IPC分类号 :
H01S5/343 H01S5/00
法律状态
2013-01-23 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101384118021
IPC(主分类) : H01S 5/343
专利号 : ZL2005100869624
申请日 : 20051123
授权公告日 : 20090114
终止日期 : 20111123
号牌文件序号 : 101384118021
IPC(主分类) : H01S 5/343
专利号 : ZL2005100869624
申请日 : 20051123
授权公告日 : 20090114
终止日期 : 20111123
2009-01-14 :
授权
2007-07-25 :
实质审查的生效
2007-05-30 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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