制作光波导掩膜板的方法
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
制作光波导掩膜板的方法。属于微细加工技术领域。本发明采用光学的方法制作光波导掩膜板，先将原图形进行分解，舍去相同单元图形，将不同单元图形通过CAD放大后，把数据送入图象发生器，并制作单元图底板。然后将底板在分步重复照相机上缩小致原尺寸并拼接成原图形。采用本方法制作的光波导掩膜板其结点数可减少1至2个数量级，对研制低损耗光波导器件和含有复杂图形的光波导器件具有重要意义。
基本信息
专利标题 ：
制作光波导掩膜板的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1046053A
申请号 ：
CN89101891.3
公开（公告）日 ：
1990-10-10
申请日 ：
1989-03-26
授权号 ：
CN1018958B
授权日 ：
1992-11-04
发明人 ：
宋柏泉陈益新
申请人 ：
上海泰来信息存储集团总公司
申请人地址 ：
上海市华山路1954号(2000信箱)
代理机构 ：
上海交通大学专利事务所
代理人 ：
詹宝
优先权 ：
CN89101891.3
主分类号 ：
G03F7/26
IPC分类号 ：
G03F7/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
法律状态
1999-05-19 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1993-06-23 ：
授权
1992-11-04 ：
审定
1992-06-24 ：
实质审查请求已生效的专利申请
1990-10-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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