一种扩散炉多工位传送装置
授权
摘要

本实用新型涉及扩散炉技术领域,且公开了一种扩散炉多工位传送装置,解决了现有的扩散炉用石英舟传送设备对多个石英舟进行传送时,不便于调节相邻两个石英舟之间的距离,在实际使用时,存在一定局限性的问题,其包括固定座,所述固定座的一侧设有活动座,活动座和固定座通过驱动组件连接,活动座的一侧固定连接有第一石英舟放置座,第一石英舟放置座的两侧均设有第二石英舟放置座,第二石英舟放置座和活动座通过滑动单元连接,第二石英舟放置座靠近第一石英舟放置座的一侧开设有螺纹槽,第一石英舟放置座的一侧开设有通孔;可以调节两个第二石英舟放置座之间的距离,进而便于根据实际需求,调节若干个石英舟之间的距离。

基本信息
专利标题 :
一种扩散炉多工位传送装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202220342197.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2022-02-21
授权号 :
CN216745463U
授权日 :
2022-06-14
发明人 :
赵海军孟庆昌
申请人 :
青岛海通达微电子有限公司
申请人地址 :
山东省青岛市城阳区夏庄街道少山社区172号-1
代理机构 :
山东易佰捷知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
李勇鹏
优先权 :
CN202220342197.7
主分类号 :
F27D5/00
IPC分类号 :
F27D5/00  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F27
炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D5/00
炉内装料的支架、屏板或类似装置
法律状态
2022-06-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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