一种微机电系统传感器及其制备方法
公开
摘要
公开了一种微机电系统传感器及其制备方法，所述传感器包括器件片和盖帽片，其中，所述器件片包括：接地电极；以及功能层，所述功能层与所述接地电极电连接；所述盖帽片包括：第二衬底；第二介质层，位于所述第二衬底的第一表面上；以及第三导电层，位于所述第二介质层远离所述第二衬底的表面上，所述第三导电层的至少一部分贯穿所述第二介质层与所述第二衬底电连接；所述第三导电层远离所述第二介质层的表面与所述功能层键合，所述第二衬底经由所述第三导电层以及所述功能层与所述接地电极电连接。本发明的微机电系统传感器及其制备方法实现所述微机电系统传感器的批量接地。
基本信息
专利标题 ：
一种微机电系统传感器及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114620671A
申请号 ：
CN202210529253.2
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2022-05-16
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
安力佳
申请人 ：
苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号NW-09楼102室
代理机构 ：
北京成创同维知识产权代理有限公司
代理人 ：
蔡纯
优先权 ：
CN202210529253.2
主分类号 ：
B81B7/00
IPC分类号 ：
B81B7/00 B81C1/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81B
微观结构的装置或系统，例如微观机械装置
B81B7/00
微观结构系统
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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