导气环及反应炉视镜系统
公开
摘要
本发明公开了一种导气环及反应炉视镜系统，导气环包括：导气环本体、设置于导气环本体内的吹扫气通道，吹扫气通道入口端朝向视镜，吹扫气通道出口端朝向反应炉内，通过吹扫气通道入口端向吹扫气通道内通入吹扫气对视镜吹扫，吹扫气通道入口端垂直于其中心轴的截面积大于吹扫气通道出口端垂直于其中心轴的截面积。在反应炉的视镜装置处安装导气环，由于吹扫气通道入口端垂直于其中心轴的截面积大于吹扫气通道出口端垂直于其中心轴的截面积，所以吹扫气通道出口端的气体流速大于吹扫气通道入口端的气体流速，能提高对于视镜的吹扫效率，优化导气环的吹扫结构，优化吹扫过程，避免了反应炉连接的视镜表面硅粉沉积，清晰的观察视镜。
基本信息
专利标题 ：
导气环及反应炉视镜系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114560465A
申请号 ：
CN202210360856.4
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2022-04-07
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张兆东吴建宏胡颖
申请人 ：
新特能源股份有限公司
申请人地址 ：
新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国家级高新技术产业开发区（新市区）甘泉堡高新技术产业园
代理机构 ：
北京天昊联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
罗建民
优先权 ：
CN202210360856.4
主分类号 ：
C01B33/021
IPC分类号 ：
C01B33/021
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素；其化合物
C01B33/00
硅; 其化合物
C01B33/02
硅
C01B33/021
制备
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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