电场传感器
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种电场传感器，包括：衬底；固定电极，与衬底固定连接；压电驱动层，第一侧面与衬底连接；可动电极，设置在压电驱动层的第二侧面上，且与固定电极构成一敏感结构；可动电极和固定电极互为屏蔽电极作用；压电驱动层在驱动电压作用下垂直振动并带动可动电极垂直振动，使固定电极和可动电极分别周期地暴露于待测电场中，从而在固定电极和可动电极上产生周期性的电荷变化，产生与待测电场强度相关的感应电流，通过采集固定电极和可动电极输出待测电场强度相关的感应电流。通过将压电驱动层设置在可动电极和衬底之间，以节省垂直方向上的空间，减小器件尺寸。
基本信息
专利标题 ：
电场传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114428189A
申请号 ：
CN202210356949.X
公开（公告）日 ：
2022-05-03
申请日 ：
2022-04-06
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李鹏田兵李立浧林跃欢骆柏锋尹旭吕前程刘仲张佳明王志明陈仁泽徐振恒韦杰谭则杰林秉章樊小鹏孙宏棣林力
申请人 ：
南方电网数字电网研究院有限公司
申请人地址 ：
广东省广州市黄埔区中新广州知识城亿创街1号406房之86
代理机构 ：
华进联合专利商标代理有限公司
代理人 ：
周清华
优先权 ：
CN202210356949.X
主分类号 ：
G01R29/12
IPC分类号 ：
G01R29/12
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R29/00
不包括在G01R19/00至G01R27/00各组中的电量的测量或指示装置
G01R29/12
静电场的测量
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 29/12
申请日 : 20220406
申请日 : 20220406
2022-05-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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