一种半导体制程用气体净化器
公开
摘要
本发明涉及一种半导体制程用气体净化器，包括：壳体，具有进气口和出气口；第一滤区和第二滤区，均沿壳体轴向依次设置于壳体内，第一滤区，包括第一隔层以及第一吸附介质，第二滤区包括第二隔层以及第二吸附介质，其中，第一吸附介质和第二吸附介质为颗粒状介质，第一吸附介质的粒径大小为0.3‑1.0mm，比表面积为300‑700m2/g；第二吸附介质的粒径大小为0.2‑0.9mm，比表面积为600‑1200m2/g。本发明的半导体制程用气体净化器，通过合理设置在的至少两个滤区及各自滤区内可对气源气体中某类杂质的针对性有效截留滤除，同时控制各吸附介质的粒径大小和比表面积，优化气体纯化效率和压降波动性，来改善颗粒状吸附介质用于气体纯化时的使用性能，以此来实现高效制备超高纯气体。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体制程用气体净化器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114588745A
申请号 ：
CN202210334085.1
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2022-03-31
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
贾建东
申请人 ：
杭州科百特过滤器材有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市萧山区河上镇大桥工业园6号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202210334085.1
主分类号 ：
B01D53/04
IPC分类号 ：
B01D53/04 B01D53/82 B01D53/40 B01D53/42 B01D53/44
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/02
通过吸附作用，例如，制备气相色谱法
B01D53/04
用固定的吸附剂
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
