微小极间距电容式力敏传感器及其制造方法
公开
摘要
本发明涉及一种带有弹性薄膜的电容式力敏传感器，属微机电技术领域。在它的弹性薄膜的中心部位设有可动电容极板。此电容的另一极板——定极板则通过支架固定在边框上，与可动极板保持微小极间距。本发明是对同名发明专利(申请号201811091210.0)的改进。主要内容是改变制造顺序：在已有技术中上边框与膜片键合时至少有一个键合表面是已经过微电子加工的表面而非原初的“光片”表面。而在本发明中，上边框键合时两键合表面都处于“光片”状态。本发明还提出一种新的定极板——支架构造以缩小制造尺寸，并提高其工作温度上限。本发明还通过省去可动极板提出性能略低但性价比更高的产品以及高质量的声强计；通过上下边框内尺寸差异减低边框键合的难度。
基本信息
专利标题 ：
微小极间距电容式力敏传感器及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114623955A
申请号 ：
CN202210316008.3
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2022-03-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
胡耿
申请人 ：
胡耿
申请人地址 ：
北京市昌平区沙河镇北街家园一区3号楼4门102室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202210316008.3
主分类号 ：
G01L1/14
IPC分类号 ：
G01L1/14 G01L9/00 G01L9/12
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/14
通过测量电元件的电容量或电感量的变化，例如，测量电振荡器的频率变化
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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