本发明提供了一种用于晶圆刻蚀工艺的异常检测方法和装置，该方法包括：获取晶圆刻蚀设备在不良品生产过程中各模块传感器对应的时序数据和设定参数数据；根据设定参数数据计算不同工艺阶段的数据均值以及整体均值特征，并根据对应的时序数据获取不同工艺阶段对应的时序统计特征；根据数据均值、整体均值特征和相应的时序统计特征对各模块传感器进行异常预测，以获取异常预测值；采用梯度提升模型根据异常预测值进行预测以获取各模块传感器的特征重要性数值；分别计算各模块传感器的异常预测值与产品性能的相关性系数；对特征重要性数值和相关性系数进行归一化处理，并计算相应的加权平均值；根据加权平均值对各模块传感器进行异常排序。