一种针对长杆状工件进行PECVD的夹具
授权
摘要
本发明涉及一种针对长杆状工件进行PECVD的夹具,包括芯轴、套设且固定在芯轴上的第一定位板与第二定位板、设置于第一定位板上的若干定位筒以及固定在芯轴上的驱动盘,所述定位筒围绕芯轴轴芯设置,所述芯轴不带电;或者,当芯轴带电时,在芯轴上设隔绝件,所述隔绝件将芯轴的工作区完全遮蔽,所述隔绝件不带电。通过使芯轴不带电或者在芯轴带电时,在芯轴外套设不带电隔绝件,能够实现芯轴不再辉光放电,杆状工件的辉光放电区不再有重叠区域,则无法形成有效的空心阴极效应,在不改变杆状工件与芯轴距离的同时增加杆状工件的装夹密度,也能够保证通过脉冲辉光PECVD形成的涂层表面均匀、厚度一致,大大提高了生产效率,降低了生产成本。
基本信息
专利标题 :
一种针对长杆状工件进行PECVD的夹具
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114351121A
申请号 :
CN202210274903.3
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2022-03-21
授权号 :
CN114351121B
授权日 :
2022-06-14
发明人 :
毛昌海祖全先帅小锋
申请人 :
艾瑞森表面技术(苏州)股份有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市昆山市陆家镇金阳东路28号
代理机构 :
苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
韩臻臻
优先权 :
CN202210274903.3
主分类号 :
C23C16/458
IPC分类号 :
C23C16/458 C23C16/515
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/458
在反应室中支承基体的方法
法律状态
2022-06-14 :
授权
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 16/458
申请日 : 20220321
申请日 : 20220321
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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