一种体声波谐振器、滤波器、通信设备及其制造方法
公开
摘要
本公开内容提供一种体声波谐振器,其包括一空腔,所述空腔形成在衬底中或形成在衬底上的一支撑层中;一下电极、一压电层和一上电极;所述下电极、所述压电层和所述上电极的重叠区域构成一三明治结构;以所述衬底上表面作为投影表面,在所述三明治结构中,所述下电极在所述投影表面上的投影形状与所述空腔在所述投影表面上的投影形状不完全重合,且所述空腔和所述下电极在所述衬底上表面的复合投影形状内至少有二个彼此独立的区域,所述独立区域分别由所述空腔的部分轮廓线构成所述独立区域的外轮廓线和所述下电极的部分轮廓线构成所述独立区域的内轮廓线。所述谐振器能提高器件的性能,以及降低工艺难度,提高产品良率,进而提高通信设备的性能。
基本信息
专利标题 :
一种体声波谐振器、滤波器、通信设备及其制造方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114614789A
申请号 :
CN202210268917.4
公开(公告)日 :
2022-06-10
申请日 :
2022-03-18
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
吴明杨清华
申请人 :
苏州汉天下电子有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城东北区39幢
代理机构 :
北京希夷微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
吴黎
优先权 :
CN202210268917.4
主分类号 :
H03H9/02
IPC分类号 :
H03H9/02 H03H9/56 H03H9/58 H03H3/02
法律状态
2022-06-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载