一种半导体晶圆生产用光刻胶收集杯结构
公开
摘要

本发明提供了一种半导体晶圆生产用光刻胶收集杯结构,涉及半导体技术领域,包括:安装机构;主体为圆柱形结构;固定件上的圆孔内部安装有调节件;滑槽开设在固定件内部顶端;滑杆安装在滑槽内部;夹持件之间通过滑杆上的弹簧相连接,且夹持件侧边与凸轮相接触;通过旋转调节件上的把手,使得调节件带动顶部的凸轮旋转,而凸轮通过两侧与夹持件相接触,使得夹持件在滑槽内部移动并拉伸滑杆上的弹簧,同时调节件上的卡位件卡位在卡槽内部,而夹持件通过顶部的弧形凸起与晶圆相接触,从而对不同型号的晶圆进行固定夹持,解决了传统光刻胶收集杯,无法根据需求固定晶圆,使得在带动晶圆旋转的过程中,晶圆出现偏斜的情况,使用不便捷问题。

基本信息
专利标题 :
一种半导体晶圆生产用光刻胶收集杯结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114602839A
申请号 :
CN202210227703.2
公开(公告)日 :
2022-06-10
申请日 :
2022-03-08
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
成辉辉
申请人 :
成辉辉
申请人地址 :
广东省深圳市龙岗区坪地街道六联社区长山工业区168号A5栋101室
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202210227703.2
主分类号 :
B08B1/00
IPC分类号 :
B08B1/00  B08B1/02  B08B11/00  B08B13/00  G03F7/16  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B1/00
利用工具,刷子或类似工具的清洁方法
法律状态
2022-06-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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