本发明公开了一种伺服系统误差补偿方法，属于运动机构标校技术领域，采用X光对标记物进行成像，以所成像的基准标记的特征在图像中的位置保持不变作为约束条件，统计载物台水平位置、载物台高度、探测器倾斜角度和旋转角度，采用多项式拟合的方法建立五轴运动关系，根据运动关系，载物台水平位置跟随载物台高度、探测器倾斜角度和旋转角度变化，实现不同放大比、不同视角下始终保持视野中心不变，对所关注区域进行成像；本发明可建立点物像在空间的绝对位置关系，不仅能满足不同放大比、不同视角下始终保持视野中心不变的需求，还可应用于平面CT成像中，不需要额外的平面CT模块，即可实现被测物体的三维成像。